Applikation Plasmacleaner

Wir bedanken uns bei Herrn Send (Universität Karlsruhe) für die nachfolgende Demonstration

Abbildung 1

Keramikpartikel auf Kohlenstofflochfolie.
Kontaminationsstreifen, erzeugt in 20s
Strahl nachgeführt.
 
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Abbildung 2

Gleiche Stelle, nach 90s im Plasmacleaner jetzt nicht mehr möglich sichtbare Kontamination zu erzeugen. Der Strahl stand 100s an der markierten Stelle (bei sonst gleichen Bedingungen Wie im linken Bild) Sowohl der Kontaminationsstreifen wie auch die Lochfolie zeigen einen geringfügigen Abbau durch das Plasma.

 
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Abbildung 3

Gleiche Stelle nach zusätzlichen 180s im Plasmacleaner (Gesamtzeit 270s)

Die Lochfolie ist zwar schon deutlich angegriffen, aber durchaus noch verwendbar.

Abbildung 4

Gleiche Stelle nach zusätzlichen 360s im Plasmacleaner (Gesamtzeit 630s)

Die Lochfolie ist jetzt unbrauchbar und fast völlig zerstört.

Der Versuch beweist das mit entsprechend vorsichtiger Behandlung die Oberflächen empfindlicher Lochfolien gereinigt werden können.

 

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